慕课-英华学堂

首页 - 课程列表 - 课程详情

微机电系统技术及应用

课程类型：选修课

主讲教师：董瑛

课程来源：清华大学

建议学分：3.00分

课程编码：xtzx0966

课程概论

s 什么是微机电系统（3分钟）

s 机电系统微型集成化的意义（3分钟）

s 微尺度效应（7分钟）

s MEMS发展历史（6分钟）

s 本课程学习内容与学习方法（5分钟）

MEMS加工技术

s MEMS与半导体平面加工技术（3分钟）

s 光刻工艺（17分钟）

s 薄膜沉积工艺（8分钟）

s 刻蚀工艺（12分钟）

s 掺杂工艺（2分钟）

s MEMS器件的加工过程（4分钟）

微压阻式压力传感器

s MEMS压力传感器的工作原理（4分钟）

s 微尺度膜片及其特性（5分钟）

s 微尺度应变器及其特性（5分钟）

s 应变器电阻变化的电学测量（6分钟）

s 应变器在膜片上的布置（4分钟）

s 一个实例及压力传感器封装问题（3分钟）

硅微麦克风

s MEMS麦克风的工作原理（4分钟）

s 微尺度电容器及其特性（6分钟）

s 准静态模型及线性化（7分钟）

s 电容信号的检测方法（7分钟）

s 硅微麦克风的加工及封装（6分钟）

s 微压电式麦克风（4分钟）

微惯性传感器

s MEMS加速度计的工作原理（6分钟）

s 微尺度的梁和弹簧（8分钟）

s MEMS压阻式加速度计（2分钟）

s 差分电容检测方式（4分钟）

s ADXL系列加速度计（4分钟）

s MEMS陀螺（6分钟）

s 微惯性测量组合及其应用（2分钟）

静电微执行器

s 静电微执行器的工作原理（6分钟）

s 基于平行平板电容器的微执行器——弯曲式（12分钟）

s 基于平行平板电容器的微执行器——扭转式（8分钟）

s 基于梳状叉指电容器的微执行器（9分钟）

s 静电微马达（6分钟）

压电微执行器

s 压电材料与压电效应（6分钟）

s 微系统中的压电薄膜（7分钟）

s 微尺度压电单元的驱动特性（6分钟）

s 压电微镜（4分钟）

s 压电微泵（9分钟）

微流控器件

s 微流控系统概述（4分钟）

s 微尺度流道与流体（10分钟）

s 微流体驱动——压差驱动（4分钟）

s 微流体驱动——毛细管驱动（5分钟）

s 微流体驱动——电动驱动（8分钟）

s 芯片PCR （6分钟）