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    MEMS与微系统
    课程类型：选修课
    主讲教师：王喆垚
    课程来源：清华大学
    建议学分：3.00分
    课程编码：xtzx1035
    课程介绍
    课程目录
    教师团队
    第一章 概述
    s 第1小节 MEMS的定义 （12分钟）
    s 第2小节 MEMS的应用领域 （15分钟）
    s 第3小节 MEMS的发展 （17分钟）
    s 第4小节 MEMS的发展（续） （15分钟）
    第二章 微系统基本理论—基础力学与基本物理
    s 第1小节 应力和应变 （14分钟）
    s 第2小节 弹性梁 （14分钟）
    s 第3小节 弹性梁（续） （15分钟）
    s 第4小节 薄板与流体的基本概念 （12分钟）
    s 第5小节 流体的基本概念（续） （8分钟）
    s 第6小节 静电力 （13分钟）
    s 第7小节 尺寸效应 （4分钟）
    第三章 微系统制造技术I—光刻与体微加工技术
    s 第1小节 MEMS光刻技术 （15分钟）
    s 第2小节 体微加工技术—各向同性湿法刻蚀 （7分钟）
    s 第3小节 体微加工技术—各向异性湿法刻蚀 （16分钟）
    s 第4小节 体微加工技术—各向异性湿法刻蚀（续） （14分钟）
    s 第5小节 体微加工技术—干法刻蚀 （12分钟）
    s 第6小节 体微加工技术—时分复用深刻蚀 （15分钟）
    s 第7小节 体微加工技术—时分复用深刻蚀（续） （14分钟）
    s 第8小节 体微加工技术—稳态深刻蚀 （7分钟）
    s 第9小节 体微加工技术—干法刻蚀设备与应用 （10分钟）
    第三章 微系统制造技术II—表面微加工技术
    s 第1小节 表面微加工技术概述 （10分钟）
    s 第2小节 表面微加工技术的几个问题 （14分钟）
    s 第3小节 表面微加工代工工艺 （5分钟）
    s 第4小节 表面微加工的应用 （7分钟）
    s 第5小节 厚结构层技术 （9分钟）
    第三章 微系统制造技术III—键合
    s 第1小节 键合概述与直接键合 （12分钟）
    s 第2小节 阳极键合与聚合物键合 （10分钟）
    s 第3小节 金属键合与键合设备 （12分钟）
    第三章 微系统制造技术IV—集成与封装
    s 第1小节 工艺集成 （10分钟）
    s 第2小节 系统集成 （4分钟）
    s 第3小节 单芯片集成与多芯片集成 （14分钟）
    s 第4小节 三维集成 （6分钟）
    s 第5小节 MEMS封装 （8分钟）
    s 第6小节 MEMS封装(续) （10分钟）
    第四章 微型传感器I—传感器的敏感机理
    s 第1小节 概述 （14分钟）
    s 第2小节 压阻传感器 （11分钟）
    s 第3小节 电容传感器与压电传感器 （7分钟）
    s 第4小节 谐振传感器与遂穿传感器 （6分钟）
    第四章 微型传感器Ⅱ—压力传感器
    s 第1小节 压力传感器 （8分钟）
    s 第2小节 压阻式压力传感器 （11分钟）
    s 第3小节 压阻式压力传感器（续） （8分钟）
    s 第4小节 电容式压力传感器与谐振式压力传感器 （8分钟）
    s 第5小节 硅微麦克风 （10分钟）
    第四章 微型传感器Ⅲ—惯性传感器
    s 第1小节 惯性传感器与加速度传感器概述 （13分钟）
    s 第2小节 压阻式与电容式加速度传感器 （9分钟）
    s 第3小节 电容式与热传导式加速度传感器 （8分钟）
    s 第4小节 微机械陀螺概述 （10分钟）
    s 第5小节 典型微机械陀螺 （12分钟）
    s 第6小节 典型微机械陀螺（续） （9分钟）
    s 第7小节 模态解耦合 （7分钟）
    第五章 微型执行器
    s 第1小节 执行器概述 （5分钟）
    s 第2小节 静电执行器—平板电容执行器 （10分钟）
    s 第3小节 静电执行器—平板电容执行器（续） （11分钟）
    s 第4小节 静电执行器—叉指电容执行器 （12分钟）
    s 第5小节 热执行器 （14分钟）
    s 第6小节 压电执行器和磁执行器 （6分钟）
    第六章 RF MEMS
    s 第1小节 RF MEMS概述 （10分钟）
    s 第2小节 MEMS开关I （10分钟）
    s 第3小节 MEMS开关II （2分钟）
    s 第4小节 MEMS开关III （9分钟）
    s 第5小节 MEMS谐振器—梳状谐振器 （15分钟）
    s 第6小节 MEMS谐振器—板式谐振器 （8分钟）
    s 第7小节 MEMS谐振器的制造 （13分钟）
    第七章 光学MEMS
    s 第1小节 光学MEMS概述 （10分钟）
    s 第2小节 MEMS光开关I （13分钟）
    s 第3小节 MEMS光开关II （7分钟）
    s 第4小节 影像再现I—反射器件 （15分钟）
    s 第5小节 影像再现II—衍射器件 （11分钟）
    s 第6小节 影像再现III—干涉器件 （6分钟）
    第八章 微流体与芯片实验室
    s 第1小节 概述 （11分钟）
    s 第2小节 软光刻技术 （8分钟）
    s 第3小节 微流体输运 （11分钟）
    s 第4小节 微流体输运（续） （8分钟）
    s 第5小节 试样处理 （9分钟）
    s 第6小节 试样处理（续） （12分钟）
    s 第7小节 检测技术 （12分钟）
    s 第8小节 微流体应用 （12分钟）
    s 第9小节 微流体应用（续） （14分钟）
    第九章 BioMEMS
    s 第1小节 概述 （11分钟）
    s 第2小节 药物释放 神经探针 生物传感器 （13分钟）
    s 第3小节 可穿戴与可植入微系统 （6分钟）
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